일반기술

다이아몬드 박막의 집합 조직 방향 조절 방법

기상에서 합성된 다이아몬드의 성장시 빠른 성장 속도를 갖는 입자의 결정 방향을 조절하여 다이아몬드 박막의 집합 조직의 방향과 박막의 표면을 구성하는 성장면의 종류 및 형상을 조절한다. <구성>적절한 흡착 원소를 이용하고, 표면 재구성 정도를 변화시킬 수 있는 적정 기판 온도를 변화시켜 단결정 입자의 형태를 원하는 형태로 변화시키고, 이를 기반으로 생성 선택법(evolutionary selection rule)에 기초한 집합 조직의 방향을 조절하는 것이다. 즉, 기상 합성법을 이용하여 다이아몬드 박막을 형성할 때, 기판 온도를 700도C에서 900도C까지 연속적으로 증가시키고, 수소와 탄화수소의 혼합 기체에 산소의 첨가량을 증가시켜 다이아몬드 입자를 구성하는 면의 흡착 정도를 변화시킴으로써, 다이아몬드 박막의 집합 조직 방향과 박막 표면 성장면의 종류를 변화시킬 수 있다.1. 기상합성을 이용하여 다이아몬드 결정을 성장시킴에 있어 산소의 첨가량을 증가시켜 다이아몬드 입자를 구성하는 (111)면과 (100)면에서의 흡착정도를 변화시킴으로써 집합조직의 방향을 <100>에서 <1110>을 거쳐 <111>로 연속적으로 조절하는 것을 특징으로 한느 다이아몬드 박막의 집합조직 방향 조절방법.2. 기상합성을 이용하여 다이아몬드 결정을 성장시킴에 있어 일정한 혼합기체의 조성하에서 기판의 온도를 700℃에서 900℃까지 연속적으로 증가시켜 다이아몬드 표면의 격자 재구성 정도의 상대값을 변화시킴으로써 집합조직의 방향을 <100>에서 <110>을 거쳐 <111>로 연속적으로 조절하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 박막의 집합조직 방향 조절방법.3. 기상합성을 이용하여 다이아몬드 결정을 성장시킴에 있어 수소에 혼합된 메탄의 양을 줄여주어 다이아몬드 입자를 구성하는 (111)면과 (9100)면에서의 흡착정도를 변화시킴으로서 집합조직의 방향을 <100>에서 <110>을 거쳐 <111>로 연속적으로 조절하는 것을 특ㅈ이으로 하는 다이아몬드 박막의 집합좆기 방향 조절방법.