일반기술

집적회로 배선 간의 크로스 톡 해석 방법

기술 개요)o본 발명은 기판 입자를 제거하기 위한 특정 이온이 인터커넥트 모델링에서 중요한 요소는 이웃하는 배선간의 크로스-톡 현상에 의한 신호 왜곡인데, 이것은 단일 전송선 모델에서는 완전히 무시되고 있다. 본 발명의 메쉬 재생성 방법은 경계면의 꼬인 현상이 발생하였을 경우, 경계면의 교점을 찾고 교점들을 중심으로 경계면 메쉬를 제거한 후, 빈 영역에 대하여 표면 메쉬로부터 노드를 연결하여 메쉬를 재생성하는 것이 특징임기술 특징 및 대표 청구항)o반도체 기판 위의 유천체 상에 형성된 인터커넥트 라인 사이의 상호 간섭 신호를 해석하는 방법에 있어서,라인간의 전자기 현상을 분석하기 위한 ADI-유한차분시간영역을 적용하는 단계;경계면에서의 진행 펄스에 대하여 형성되는 반사파를 제거하기 위하여 단락 경계 조건을 적용하는 단계;주변 데이타에 대하여 비교하여 시간 증분의 변화를 계산하는 단계를 포함하는 수치해석 방법임