일반기술

하이브리드 플라즈마 ＰＶＤ 코팅장치 및 상기 코팅장치를이용한 코팅방법

본 발명은 플라즈마 코팅장치 및 코팅방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 펄스증착과 이온주입효과도 동시에 얻을 수 있는 하이브리드 플라즈마 PVD 코팅장치 및 상기 코팅장치를 이용한 코팅방법에 관한 것이다. 본 발명의 코팅장치 및 코팅방법에 의하면 코팅된 표면의 기계적 물성을 향상시킬 수 있어, 최적화된 고경도 코팅막 및 소재 부품의 기계적 특성 향상의 핵심인 내마모/윤활 특성이 향상된 코팅막을 제공할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.1. 동일 챔버내에서 펄스증착 기능과 이온주입기능을 독립적으로 또는 동시에 수행2. 도전성 타겟뿐만 아니라 부도성(산화물, 질화물, 탄화물) 타겟의 코팅이 가능3. 아르곤 가스의 도임 없이도 독립적으로 원하는 가스 플라즈마 이온 주입이 가능4. 복잡함 형탱의 3차원 구조물을 피처리물로 하여 코팅처리 또는 질화 및 탄화 이온주입 처리가 가능5. 홀도모듈의 직선 및 회전운동뿐만 아니라 피처리물의 가열 및 바이어스전압의 인가도 가능한 구조의 하이브리드 플라즈마 PVD 코팅장치를 제공