일반기술

자기 헤드용 철계 연자성 박막 합금 및 그 제조 방법

FE-HF 2원계 합금을 기본으로하여 C, N 및 O를 상호 조합하여 합금화시키므로써 MHZ 대역의 고주파 영역에서 고포화 자속밀도와 고투자율을 지니면서 내열성이 우수한 박막 합금을 제공한다. <구성>고주파 2극 마그네트론 스퍼터링 장치에서, 순철, FE-HF-C 합금 등의 타겟 위에 HF, HF의 질화물, HF의 산화물, HF의 탄화물 및 C의 소편을 배치하거나, FE-HF-C-N 또는 FE-HF-C-N-O 합금 등의 타겟을 불활성 스퍼터링 가스 중이나 AR 및 N2 분위기 중에서 300W의 전력과 1 MTORR의 혼합가스 압력하에서 열처리하여 철계 초미세 결성 연자성 박막합금을 제조한다.1. 다음의 조성식, Fe...Hf..C..N..O..이 때, x,y,z,v,w는 각각 원자%로서, 71≤x≤86 5.5≤y≤10.5 1≤z≤13 1≤v≤13 0≤w≤3 7.5≤z+v+w≤18.5 (단, x+y+z+v+w=100)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기헤드용 철계 연자성 박막합금.2. 순철, Fe-Hf 합금, Fe-Hf-C 합금 등의 타게트 위에 Hf, Hf의 질화물, Hf의 산화물, Hf의 탄화물 및 C의 소편을 배치하거나, Fe-Hf-C-N 또는 Fe-Hf-C-N-O 합금 등의 타게트를 불활성 스퍼터링 가스 중이나, 스퍼터링 가스 중에 C이나 N 또는 O을 함유하는 분위기 하에서 스퍼터링하여 박막을 형성한 후 진공중이나 Ar 및 N₂분위기 중에서 열처리하여 철계 초미세 결정 연자성 박막합금을 제조하는 것을 특징으로 하는 자기헤드용 철계 연자성 박막합금의 제조 방법.