일반기술

구리증기레이저의 퍼짐각 제어장치

o 기술 요약 및 특징Ne을 포함하는 레이저가스가 봉입되고 그 양단에 각각 제 1, 제 2윈도우가 설치된 방전관과, 방전관 제 2윈도우의 후방에 설치되고 발진된 레이저빔을 평행 빔으로 출사하기 위한 오목거울과, 오목거울로부터 출사된 레이저빔을 분할하기 위한 선속분할기와, 선속분할기를 통하여 분할된 레이저빔을 오목거울측으로 피드백시키기 위한 평면거울과, 평면거울을 통하여 피드백되는 레이저빔의 퍼짐각을 제어할 수 있도록 평면거울 전방에 마련된 조리개를 포함한다. 또한, 오목거울 및 선속분할기, 평면거울에 의해 반공초점공진기를 구성하고, 조리개와 선속분할기는 반공초점 공진기내에 구비됨을 특징으로 함o 관련기술정보 및 현황 - 색소레이저의 펌핑광원으로 활용가능하고, 반도체 및 광집적회로, 그리고 레이저 가공분야에 활용 - 반도체 및 광집적회로분야에서는 집속성이 우수하고 보다 짧은 파장의 광식각용 광원에 대한 개발이 요구 - 레이저 가공분야에서는 보다 다양한 파장, 작은 퍼짐각(beam divergence), 우수한 강도분포(field-pattern)를 갖는 고출력 레이저 요구