일반기술

주기적인 패턴을 갖는 산화아연 나노막대 어레이의제조방법

o 기술 요약 및 특징본 발명은 주기적인 패턴을 갖는 산화아연 나노막대 어레이의 제조방법을 제공한다. 상기 제조방법은 기판상에 알루미늄 양극산화 과정을 이용하여 나노패턴이 형성된 실리콘 산화막(SiO2)을 형성하는 단계와 상기 기판이 배치된 수열합성용 용액을 일정 온도로 유지하여 상기 기판상에 산화아연 나노막대 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 함. 수열합성법과 양극 알루미늄 나노패턴을 이용함으로써, 저온에서 저가의 간단한 공정으로 산화아연 나노막대 어레이를 제조할 수 있음o 관련기술정보 및 현황 - 1차원적 나노사이즈의 재료들은 최근 그들의 고유한 광학적, 전기적인 특성과 함께 전자공학, 광전자공학에서의 잠재적인 사용으로 인하여 많은 연구 진행중임 - 산화아연 나노구조는 높은 압전특성과 화학적 감지특성(sensing properties)을 가지고 있기 때문에 나노스케일의 기계적 장치나 센서에도 사용될 수 있기 때문에 산화아연 나노막대를 합성하는 방법에 대해 활발한 연구가 진행중임 - 종래에는 산화아연 나노막대를 펄스레이저증착법(PDL법)이나 유기금속화학증착법이나 분자선증착법 등과 같은 방법을 이용하였음