일반기술

MoO3의 수소 환원 반응에 의한 MoO2 또는 Mo 박막 형성 방법

본 기술은 수소 환원 반응에 의한 MoO2 또는 Mo 박막 형성 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 산화 몰리브덴(MoO3) 분말을 금속 기판과 접촉하고, 수소 분위기 하에서 환원 열처리 공정을 제어하여 금속 기판 상에 MoO2 또는 Mo 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다.기존의 MoO2 또는 Mo 박막을 형성하는 방법은 유독한 반응물이나 고가의 장비가 필요하였다. 그러나 본 발명은 산화 몰리브덴(MoO3) 분말을 금속 기판과 접촉하고, 수소 분위기 하에서 환원 열처리 공정을 제어하여 매우 간단한 공정만으로 금속 기판 상에 MoO2 또는 Mo 박막을 형성하고자 하였다.본 기술에 따른 코팅 방법을 통해 2차원적인 형태뿐만 아니라 3차원적인 형태의 금속에 대한 이산화몰리브덴(MoO2) 및 몰리브덴(Mo)의 코팅이 가능해졌으며, 이러한 코팅은 산화몰리브덴 박막을 코팅하여 NH3, CO, NOx, SOx 등의 가스를 검출하는 검출센서 등에 적용이 가능할 뿐만 아니라 몰리브덴 박막을 코팅하여 사용하는 모든 분야에 적용가능하다.<기술의 특징>종래기술의 문제점을 해결하고자, 금속기판을 산화몰리브덴 분말 속에서 3차원적으로 분말과 기판이 접촉된 상태에서 수소분위기로 온도를 올리면서 환원하는 비교적 간단한 방법이다. 본 기술은 종래의 일반적인 방법들과 달리, 화학증착법의 반응중에 생기는 유독한 반응물이 아닌 물(water)이 생성물로써 생성되어 상당히 환경친화적이며, 물리적인 증착법에서의 고가의 표적재료나 고진공의 장비가 필요 없이 단지 환원성 분위기에서 작동하며 열용사코팅의 경우처럼 복잡하고 위험성이 높은 장비가 필요없이 단지 온도를 높일 수 있는 로(furnace)만으로도 비교적 균일한 MoO2 및 Mo 박막을 코팅할 수 있다는 장점을 가지고 있다. <적용분야>수소 환원 반응에 의한 MoO2 또는 Mo 박막 형성 방법에 관한 것으로 2차원적인 형태뿐만 아니라 3차원적인 형태의 금속에 대한 산화 몰리브덴 및 몰리브덴의 코팅이 가능해졌으며, 이러한 코팅은 산화몰리브덴 박막을 코팅하여 NH3, CO, NOx, SOx 등의 가스를 검출하는 검출센서 등에 적용이 가능할 뿐만 아니라 몰리브덴 박막을 코팅하여 사용하는 모든 분야에 적용가능하다.