일반기술
연성 폴리머 기판 위에 상온 화학증착법
본 기술은 상온에서 연성 폴리머 기판을 화학증착 할 수 있는 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 즉 본 발명은 연성 폴리머 기판 적용시 증착과정에서 기판 가열이 없이도 우수한 구조적, 전기적인 특성을 가지는 화학증착 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한 본 발명은 종래 기판 가열형 화학증착장치를 이용하여 연성 폴리머 기판을 화학증착 할 수 있는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 기술은 (A) 증발기에 의해 증기화된 소스증기를 반응챔버로 분사되기 전에 열분해되도록 가열하여 나노크기의 단일상(single phase)으로 변환시키는 단계와 (B) 상기 나노크기의 단일상으로 된 소스증기를 반응챔버 내의 별도로 가열되지 않는 연성 폴리머 기판에 분사하는 단계를 포함하는 상온 연성 폴리머 기판의 화학증착법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 복합재료 제조공정 기술
- 보유기관
- 충남대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-15
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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