일반기술
삼극관구조의 탄소나노튜브 전계방출소자의 제조방법
본 기술은 미세 세공을 갖는 알루미나 멤브레인을 이용하여 성장된 탄소나노튜브를 에미터 소자로 사용할 수 있는 공정 기술이다.본 기술은 삼극관 구조의 탄소나노튜브 전계방출소자를 제조하는 방법에 관한 것으로, Si 기판상에 형성시킨 양극 산화 알루미나(AAO : Anodic Aluminium Oxide)를 선택적으로 차폐시켜 차폐되지 않은 공간에서 탄소나노튜브를 선택적으로 성장시키고, 그 위에 제1 절연층, 게이트 전극층 및 제2 절연층을 차례로 증착시킨 후, 식각 처리로 내부의 탄소나노튜브를 발현시킴으로써 균일한 직경 및 높이를 갖는 탄소나노튜브를 제어가능하게 성장시킬 수 있으며, 탄소나노튜브와 게이트 전극간의 절연이 가능하고 전류 누설을 방지할 수 있는 삼극관 구조의 탄소나노튜브 전계방출소자를 제조할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 생명과학 > 나노 바이오 소재 (R11)
- 보유기관
- 충남대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-15
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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