일반기술

마찰계수 저감을 위한 바이어스 포스트 플라즈마 질화방법

본 기술은 질화시 첨가되는 가스 제어를 통해 화합물층의 구조를 극미세화하고 이를 통해 마모 특성을 향상시킬 수 있도록 한 마찰계수 저감을 위한 바이어스 포스트 플라즈마 질화방법에 관한 것이다.이를 위해, 노 내부를 400~600℃의 공정온도로 승온 유지시키고, 스크린망에 플라즈마를 생성한 후, Ar과 H2을 투입하고 가열 유지하여 시편을 연질화시키며, 플라즈마를 관통해 질소와 수소 및 H2S를 투입하여 상기 시편을 2시간 동안 플라즈마 질화시키고, 노 내부에 질소를 투입하여 상기 시편을 냉각시켜 플라즈마 질화처리하는 방법을 특징으로 한다.상기한 구성에 따라, 플라즈마 질화를 통한 결정립 초미립화에 의해 시편의 마찰계수를 0.2 정도로 최소화시켜 무윤활유 베어링, 부싱 등의 제품 제조에 효율적으로 적용될 수 있는 효과가 있고, 특정부위에 과도한 소착 또는 용손에 의해 손상되는 용손 및 소착현상을 방지하여, 우수한 물성의 제품을 확보할 수 있는 효과도 있다.