일반기술

마이크로 무금형 점진성형용 스타일러스 승강장치

본 기술은 무금형 점진성형기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스타일러스의 마이크로 및/또는 나노 정도의 승강 이송이 가능하여, 원하는 정밀도로 제품 성형이 가능한 마이크로 무금형 점진성형용 스타일러스 승강장치에 관한 것이다.이를 위해, 무금형 점진성형장치에 있어서, 스타일러스 승강장치부는, 상단플레이트 상면에 고정된 고정프레임과 상기 고정프레임 전방에 장착된 승강프레임을 서보모터에 의해 승강 이송시켜 상기 승강프레임과 함께 그 하부에 장착된 스타일러스를 마이크로 정밀도로 승강 이송시키는 마이크로 승강수단과 상기 승강프레임 하부에 장착된 스타일러스를 압전세라믹 액츄에이터에 의해 나노 정밀도로 승강 이송시키는 나노 승강수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.상기한 구성에 따라, 스타일러스의 승, 하강 이송이 AC 서보모터를 통해 마이크로 정밀도로 승강 이송되고, 압전세라믹 액츄에이터를 통해 나노 정밀도로 승강 이송되므로, 나노 및/또는 마이크로의 정밀도를 필요로 하는 박막구조물 성형에 적합한 효과가 있다.