일반기술
전자빔을 이용한 패턴형성장치, 그 제어방법 및패턴형성방법
본 기술은 전자빔을 이용한 패턴형성장치에 관한 것으로서, 좀 더 자세하게는 전자빔을 사용하여 보다 세밀하고 넓은 범위에 전자회로패턴을 형성하기 위하여 본 기술의 일 형태에 따르면, 패턴이 형성되며, 형성된 패턴을 시료에 전사(轉寫)하는 패턴형성 대상물, 패턴형성 대상물의 표면에 서로 인접한 패턴 형성영역을 갖도록 배치되는 적어도 1개 이상의 전자빔 방출장치를 포함하여 이루어지는 전자빔을 이용한 패턴형성장치를 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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