일반기술

초임계 이산화탄소에 적용되는 계면활성제, 이를 활용하여이산화탄소 유체에 의한 각종 전자 기판의 세정

본 발명은 환경친화적인 이산화탄소에 적용 가능한 올리고에틸렌글리콜메틸에테르메타크릴레이트(oligo(ethyleneglycol)methyl ether methacrylate, OEGMA)와 퍼플루오르옥틸메타크릴레이트(perfluorooctylmethacrylate,FOMA)의 공중합체 및 2-디메틸아미노에틸메타크릴레이트(2-(dimethylamino)ethylmethacrylate, DMAEMA)와 퍼플루오르옥틸메타크릴레이트(perfluorooctylmethacrylate, FOMA) 공중합체 계면활성제의 제조 및 이를 이용한 반도체 세정과 패턴 붕괴 방지에 관한 것이다. 상술한 계면활성제는 불소 성분으로 친이산화탄소(CO2 philic) 특성을, 올리고에틸렌글리콜메틸에테르메타크릴레이트(OEGMA) 또는 2-디메틸아미노에틸메타크릴레이트(DMAEMA) 성분으로 친유성함과 동시에 친수성한 특성을 보유하므로 이산화탄소에 적용하여 세정력을 보다 향상시킬 수 있다.구체적으로, 본 발명에서는 친이산화탄소 성분과 소이산화탄소 성분이 포함된 공중합체를 원자 전이 라디칼 중합(atom transfer radical polymerization, ATRP), 기 이동 중합 (group transfer polymerization, GTP) 또는 라디칼 중합을 이용하여 쉽게 제조한다. 이와 같은 본 발명의 계면활성제는 물을 흡수하는 성질이 좋아서, 액체 또는 초임계 이산화탄소와 함께 사용하여 각종 기판, 예컨대 반도체 기판, 마이크로 기전 복합소자(MEMs), 디스플레이 패널 또는 광전 소자(optoelectronic device) 등으로부터 오염물, 예컨대 물, 수용성 용매(현상액) 및 이온성 부산물을 제거하는데 효과적이며, 기판에 어떠한 손상도 주지 않는다. 따라서, 본 발명은 이산화탄소 유체를 이용하여 각종 전자 기판의 오염물을 제거하는데 유용한 본 발명의 공중합체 계면활성제의 용도를 제공한다.본 발명은 오염된 지지체에 계면활성제를 함유한 이산화탄소 유체를 사용하여, 계면활성제가 지지체로부터 오염물질을 분리하여 이산화탄소 유체 내부로 반출하여 오염물질을 제거하게 함으로써 단시간에 많은 오염물질을 제거할 수 있고, 사용된 이산화탄소는 재순환하여 재활용할 수 있을 뿐만 아니라, 환경에 무해한 이산화탄소를 사용함으로써 환경오염을 방지하고, 환경친화적인 오염물질 제거방법을 제공하여, 다양한 분야에서 실용적으로 사용 가능하게 한데 그 효과가 있다.