일반기술

레이저 유도 초음파 검사 시스템

<기술개요 및 특징>레이저 유도 초음파 검사 시스템을 제어하여 레이저 간섭계의 이득을 변화시키면서 최대 이득 순간을 적응적으로 찾아내고, 이 순간에 초음파 신호를 유도함으로써 높은 신호대의 잡음 비율을 갖는 진폭이 큰 초음파 신호의 획득이 가능하여 레이저 간섭계의 투과-반사광의 위치를 한 곳에 고정시키는 바이어스를 제어함.펄스 레이저를 유도하되, 초음파 여기용 펄스 레이저(11)와, 셔터(12)와, 중성농도 필터(13)와, 빔 샘플러(14)와, 제1, 2 미러(15, 16) 및 제1 집속렌즈(17)로 구성되는 레이저 초음파 유도장치(1); 상기 레이저 초음파 유도장치(1)의 초음파 신호를 측정하되, 연속 발진 레이저장치(21)와, 편광자(22)와, 제3 미러(18)와, 반파장판(24)과, 제1 편광 빔가르개(25)와, 1차 1/4 파장판(26)과, 제2 집속렌즈(27)와, 제2 편광 빔가르개(28)와, 2차 1/4 파장판(29)과, 제3 집속렌즈(30)와, 공초점 패브리-페롯 간섭계(31)와, PZT(32)와, 제4 집속렌즈(33)와, 제5 집속렌즈(39)와, 중계렌즈(34)와, 제1 고속/고이득 광센서(35) 및 제2 고속/고이득 광센서(36)로 구성되는 공초점 패브리-페롯 레이저 간섭계(2); 상기 공초점 패브리-페롯 레이저 간섭계(2)를 통하여 입사되는 각각의 신호를 합치는 아날로그 덧셈기(3); 상기 아날로그 덧셈기(3)에서 출력되는 신호와 제1 광센서(37)에서 출력되는 신호 및 빔 샘플러(14)에서 블록(23)을 통하여 반사되어 제2 광센서(38)에서 출력되는 신호를 획득하고, 획득된 신호의 처리 및 주변장치를 제어하는 중앙 제어장치(7); 상기 중앙 제어장치(7)에 의해 제어가능하게 구비되는 1, 2차원 이송장치(4, 5); 및 펄스 레이저 빔을 발사시키기 위한 고속 전압 증폭기인 고속 신호 변환기(9)를 포함하여 이루어지는 레이저 유도 초음파 검사 시스템(100)에 있어서,상기 중앙 제어장치(7)가 다이나믹 안정기(701)와, 고주파 통과 필터(702)와, 고속 A/D 변환기(703)와, 트리거용 A/D 변환기(704)와, 최대기울기 자동측정기(705)와, 신호 처리장치(706)와, 초음파 추출 신호기(707)와, 에러 보정기(708)와, 랜포트(709a) 및 모터 드라이버(709b)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 초음파 검사 시스템.에러를 보정할 수 있는 오차 보정기에 의하여 시스템의 성능을 보다 안정적으로 향상시킬 뿐만 아니라, 측정 데이터의 신뢰성을 향상시키며, 초음파 발생용 펄스 레이저와 초음파 측정용 연속발진 레이저가 부착된 공초점패브리-페롯 레이저 간섭계를 이용하여 비접촉식으로 측정 대상체의 결함을 검사할 수 있는 레이저 유도 초음파 검사 시스템을 제공함.본 기술은 레이저 초음파 유도장치, 공초점 패브리-페롯 레이저 간섭계, 아날로그 덧셈기, 중앙 제어장치, 1/2 차원 이송장치, 고속 신호 변환기를 포함하는 레이저 유도 초음파 검사 시스템서 상기 중앙 제어장치의 구성을 세분화한 장치를 제공함.