일반기술

출력제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총 및 그 제어방법

<기술개요 및 특징>본 기술은 음극과 양극으로 이뤄진 이극관형 전자총과는 달리 음극과 양극 사이에 조절 전극(modulating electrode)을 둔 출력 삼극관형 전자총 및 그 구조와 전자빔 출력 및 전자빔 모양의 조절할 수 있도록 한 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총 및 그 제어 방법에 관한 것이다.본 기술은 발명에 따른 삼극관형 전자총은 전자총 외부의 집속 렌즈나 교정 자석등을 사용하지 않고도 조절 전극의 전압을 변화시켜 전자빔의 전류와 모양을 쉽고 간단하게 조절할 수 있고, 하나의 전원 장치로 전자빔을 펄스 또는 연속으로 쉽게 인출할 수 있으며 하나의 세라믹판에 필라멘트, 음극, 조절 전극등을 설치하고 세라믹판을 양극에 고정시켜 전자총 전체를 하나의 완성품이 되면서도 개개의 부품이 분해, 교체될 수 있도록 함으로써, 시스템의 구조를 간단히 하면서도 유지, 보수가 용이하도록 한 것임.