일반기술

전자충돌 가열에 의한 원자 및 분자빔 발생장치

<기술개요 및 특징>증발용 기부 안에 내장된 필라멘트에서 발생된 열 전자를 고전압으로 가속시켜 증발용 기부에 충돌시킴으로써 시료를 가열하여 증기빔을 만들어내는 전자충돌 가열형 원자 및 분자빔 발생장치증발용기 하단에 필라멘트를 설치하여 필라멘트에서 발생된 열전자를 고전압으로 가속시켜 증발용기와 충돌시킴으로써 증발용기내이 시료를 가열하는 것을 특징으로 하는 전자충돌 가열에 의한 원자 및 분자빔 발생방법. 작은 전력으로 높은 가열효과를 가지며 장치를 소형 경량화할 수 있는 내장형 필라멘트에서 발생하는 열전자를 고전압으로 가속시켜 증발용기를 가열하는 원자 및 분자빔 발생장치를 제공하여 정밀광학. MBE(molecular beam epitaxy)장치 및 광학용 코팅(coating)장치 등에서 응용할 수 있도록 하는 것 증발용기 하단 혹은 지지대 내부에 필라멘트를 설치하고 필라멘트에 전류를 흘러줄 때 발생하는 열전자를 필라멘트와 증발용기 사이에 인가된 고전압으로 가속하여 증발용기를 가열하는 원자 및 분자빔 발생장치로서, 증발용기 및 지지대 주위에 다중의 열반사체를 부착하고 필라멘트 부분과 증발용기 부분을 완전 분리시켜 전기적, 열적으로 장치의 안정성을 향상시킨 전자충돌 가열형 원자 및 분자빔 발생방법 및 장치를 제시함