일반기술

화학 증착 장치용 히터

평면상으로 절곡형성된 히터 선(1)과 판상체의 히터 판(2)과 히터 선(1)이 히터 판(2)과 일정간격을 유지한 상태로 히터 판(2) 위에 지지되도록 하는 히터 선 지지구(3)와 히터 판(2)의 하부및측면에 설치되는 하부방열판(5A) 및 측면 방열판(5B)으로 구성됨을 특징으로 하는 화학증착 장치용 히터.1. 평면상으로 절곡형성된 히터 선(1)과 판상체의 히터 판(2)과 히터 선(1)이 히터 판(2)과 일정간격을 유지한 상태로 히터 판(2)위에 지지되도록 하는 히터 선 지지구(3)와 히터 판(2)의 하부 및 측면에 설치되는 하부 방열판(5a) 및 측면 방열판(5)으로 구성됨을 특징으로 하는 화학증착 장치용 히터.2. 제1항에 있어서, 히터 선(1)은 몰리브덴 또는 텅스텐으로 이루어짐을 특징으로 하는 화학증착 장치용 히터.3. 제1항에 있어서, 히터 판(2)은 중앙부에 기판지지대 회전축 삽입구멍(2a)이 형성됨을 특징으로 하는 화학증착 장치용 히터.4. 제1항에 있어서, 히터 선 지지구(3)에는 히터선 통과공(3a)과 고정공(3b)가 상,하로 관통형성됨을 특징으로 하는 화학증착 장치용 히터.