일반기술

CSI(T1) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기

<기술개요 및 특징>방사선 검출 센서로 CsI(T1) 섬광체를 사용한 박막 두께 측정 방법, 일체형 박막 두께 측정기 및 제조 방법.박막 시료의 두께를 측정하는 일체형 박막 두께 측정기에 있어서, 방사선 선원부와, 상기 방사선 선원부에서 나와 박막 시료에서 후방산란한 감마선을 검출하는 CsI(T1) 섬광체를 구비한 검출부; 상기 섬광체 내의 빛을 전자 증폭하여 전기적 신호로 변환하는 광전자증배관(PMT)과, 변환된 전기적 신호를 증폭하고 선별하여 상기 산란 감마선의수를 출력하는 전자회로를 구비한 몸통부; 외부로부터 전원이 공급되고, 상기 전자회로의 출력을 받아 외부로 출력하는 컨넥터를 구비한 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 CsI(T1) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기.본 기술은 흡습성이 작고 외부의 충격에도 강한 CsI(T1) 섬광체를 방사선 검출기로 이용하는 박막 두께 측정 방법, 이 방법을 이용하여 기계적인 충격에 강하고 디지털 신호를 출력하여 외부 환경에 안정적인 일체형 박막 두께 측정기 및 이를 제조하는 방법을 제공함방사선 선원부와, 박막 시료에서 후방 산란한 감마선을 검출하는 CsI(T1) 섬광체를 구비한 검출부와, 섬광체 내의 빛을 전기적으로 변환하는 광전자증배관과, 변환된 전기적 신호를 증폭하고 선별하여 감마선의 수를 출력하는 몸통부와, 외부로 출력하는 연결부를 포함하여 감마선을 박막 시료에 입사시켜 감마선이 소멸되면서 섬광이 발생되면 전기적 신호로 바꾸어 이를 디지털 신호로 전환하고, 디지털 신호를 카운트하여 박막 시료의 두께를 결정하는 박막 두께 측정기 및 이를 제조하는 방법을 제시.