일반기술

이온빔조사에 의한 대전방지용 진공성형용기 제조방법

<기술개요 및 특징>정전기방지를 필요로 하는 전자 부품, 반도체 등 고부가가치 물건의 운송 및 보관에 종래의 진공성형용기를 쉽게 사용할 수 있도록 하기 위해 대전방지 기능이 첨가된 진공성형용기를 제조하는 방법을 제공이온빔 조사에 의해 정전기를 제거하는 용기의 제조방법에 있어서, 폴리프로필렌 수지 조성물 시트를 진공 성형하여 만든 진공성형용기(1)를 진공챔버(2) 안의 자동화된 이동형 지지구조(3)에 올려놓은 후 이온원(4)으로부터 발생된 이온빔(5)을 가속 시킨 후, 이동중인 진공성형용기(1) 표면에 조사하여 주입시킴으로써 진공성형용기(1) 표면의 전기저항을 1011Ω/SQ 이하로 감소시켜 정전기 발생을 방지시키는 방법으로 이루어지되, 상기 이온빔의 가속 조건은 챔버내의 진공도 1×10-5TORR에서 이온빔 세기 40KEV ~ 50KEV, 이온 조사량 3×1016 IONs/CM2 이상을 유지하고, 상기 자동화된 이동형 지지구조(3)에 올려놓은 다양한 형태를 갖는 진공성형용기 표면에 이온빔을 균일하게 조사하기 위해 지지구조를 이동과 회전이 자유로운 자동화된 범용 다축 지지구조를 사용하며, 상기 이동형 지지구조물 상단부에 설치된 이온원(4)을 한 개 이상 설치하여 다중으로 이온빔을 조사하는 방법을 특징으로 하는 이온빔 조사에 의한 정전기방지 기능을 갖는 진공성형용기의 제조방법. 본 기술은 폴리프로필렌 수지 조성물 시트를 진공 성형하여 만든 진공성형용기(1)를 진공챔버(2) 안의 자동화된 이동형 지지구조(3)에 올려놓은 후 이온원(4)으로부터 발생된 이온빔(5)을 이동중인 진공성형용기(1) 표면에 조사 시켜 진공성형용기(1) 표면의 전기저항을 1011Ω/SQ 이하로 감소시켜 정전기 발생을 방지시키는 방법을 제시