일반기술

다중 입사광의 파면왜곡 정밀측정 장치 및 그 방법

<기술의 개요 및 특징>본 기술은 다중 입사광의 파면왜곡 정밀측정 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 그 목적은 둘 이상의 입사광을 파면센서를 다용하여 동시에 파면영상을 획득하고, 획득된 영상에서 고속의 정밀하게 파면형상정보를 추출하고 파면왜곡정보를 계산한 다음 이를 보정하는 적응광학시스템장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.본 기술의 구성은 다중 입사광의 파면 왜곡을 동시에 측정 및 보정하는 장치에 있어서, 둘 이상의 입사광을 평행광으로 유도하는 같은 수의 시준렌즈와, 다중 입사광을 점영상으로 CCD 센서에 촬상시키는 같은 수의 하트만배열렌즈, 카메라 렌즈 및 하트만배열렌즈를 이용하여 구성한 다중 입사광에 대한 점영상을 전기적인 전압값의 형태인 영상 값으로 동시에 획득하는 같은 수의 CCD촬상센서와, CCD촬상센서에 획득된 영상에 영상입출력변환 테이블을 가진 입력 LUT를 사용하여 입력영상에 대하여 변환된 디지털화된 값으로 획득하는 영상처리전용보드와, 영상처리전용보드에 획득된 디지털화된 점영상에 대해 각 점의 중심점을 정밀하면서도 고속으로 추출하여 입사광의 파면왜곡정보를 추출한 후 이를 보정하는 운영시스템인 주운영 컴퓨터와, 측정된 파면왜곡 정보의 X축과 Y축의 평균 기울기 값을 보정하기 위한 절연제어드라이브와 기울기거울 제어드라이브 및 기울기거울과, 측정된 파면왜곡 정보에서 평균 기울기 값을 뺀 파면왜곡 형상정보를 보정하기 위한 차분통신드라이브와 변형거울 제어드라이브 및 변형거울과, 제어데이터의 전송동안 마우스의 이동을 제어하는 마우스 제어장치로 구성된 장치와 이를 이용한 측정방법을 그 기술적 요지로 한다.