일반기술

탄성에너지를 고려한 캔틸레버 멤스 구조 해석 방법

본 발명은 멤스(Micro Electro Mechanical System : MEMS) 기술로 캔틸레버 구조에 대한 것으로, 탄성에너지를 고려한 자기변형계수를 구하기 위한 자기변형 박막의 자기변형계수의 측정을 위한 장치에 관한 것이다. 자기변형 박막의 정확한 자기변형계수(magnetostrictive coefficient) 측정은 자기변형현상을 응용하는 MEMS 작동기의 설계에 있어 매우 중요하다. 자기변형계수는 측정하고자 하는 자기변형 박막이 증착된 캔틸레버의 횡 방향 변위를 측정함으로써 측정할 수 있는데 이것은 캔틸레버의 횡 방향 변위가 자기변형계수에 선형적으로 의존하기 때문이다. 이에 본 발명은 자기변형 박막에 대해 자기변형 박막의 탄성에너지가 고려된 이론식을 적용하여 자기변형계수를 계산하고, 오차범위를 줄일 수 있는 Tb-Fe film 과 Sm-Fe film을 사용하는 캔틸레버를 제작하는 방법을 고안하였다.