일반기술

나노 압입 시험 기능을 갖는 ＡＦＭ 캔틸레버

이 기술은 나노 압입 시험 기능을 갖는 원자력 현미경(Atomic Force Microscope, AFM)의 캔틸레버에 관한 것으로서, 나노 압입 시험 시 수평 방향 운동의 보상과 압입 깊이 산출 등의 문제를 해결하여 정확한 물성 측정이 가능한 기술임. 이 기술의 AFM 캔틸레버는 고정 스테이지에 장착된 일단부와, AFM 팁이 장착된 타단부를 포함하고, 일단부 및 타단부가 위치하는 일 축을 포함하는 어느 한 평면에 대해 대칭인 중공 프레임을 포함하도록 구성되어 있음. 이 기술은 기존 AFM 캔틸레버에 필연적으로 수반되었던 수평방향 운동의 문제점을 해결함으로써, AFM 팁과 시편 간의 상호작용에 대한 보다 정확한 물성의 측정이 가능함. 또한, AFM에 나노 압입 시험 기능을 부여하는 데에 매우 유리하며, AFM 나노 압입 시험뿐만 아니라, AFM의 원래 기능인 각종 표면 형상 측정에도 그대로 이용할 수 있음. 더욱이, 이 기술은 기존의 AFM 장비에 어떠한 변경을 가하지 않고도 교체 장착되어 기존 AFM 장비에 호환 적용할 수 있는 장점이 있음.