일반기술

AFM 프로브

이 기술은 원자력 현미경(Atomic Force Microscope; AFM)에 이용되는 AFM 프로브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마이크로 단위 또는 나노 단위의 크기를 갖는 미소 구조물의 형상(topography) 및 기계적 물성 테스트에 공용으로 이용 가능한 AFM 프로브에 관한 것임. 이 기술의 AFM 프로브는 일 축선 상에 고정 단부(fixed end)와 이동 단부(movable end)를 갖는 탄성 변형 가능한 중공 프레임과, 이동 단부에 지지되어 시편에 대항하여 상기 축선 방향으로 이동가능한 AFM팁과, 중공 프레임의 내측면에 구비되어 AFM팁의 축선 방향으로의 이동을 정해진 범위 내에서 규제하는 스토퍼로 구성되어 있음. 이 기술은 AMF 프로브의 강성이 테스트 종류에 따라 가변될 수 있으므로 작은 강성이 요구되는 시편의 표면 형상 테스트와 큰 강성이 요구되는 시편의 압입 테스트 모두에 상기 AFM이 공용으로 사용될 수 있는 장점이 있음.