일반기술

마이크로 전기 기계 장치 미러 어레이에서 어드레싱 라인을 형성하는 방법

본 발명은 MEMS 미러 셀을 가로 및 세로 방향으로 배열한 MEMS 미러 어레이에서 각각의 MEMS 미러 셀을 개별적으로 제어할 수 있는 어드레싱 라인 형성 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) MEMS 미러 어레이 하부의 기판을 에칭하여 어드레싱 라인이 배치될 수 있는 공간을 준비하는 단계와, (2) 준비된 공간을 이용하여, 어드레싱 라인을 배치하는 단계와, (3) MEMS 미러 어레이를 구성하는 각각의 MEMS 미러 셀의 구동 전극을 배치된 어드레싱 라인 중 대응하는 어드레싱 라인과 연결(bonding)하는 단계를 포함하는 어드레싱 라인 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 어드레싱 라인 형성 방법에 따르면, MEMS 미러 어레이 하부의 기판에 어드레싱 라인을 상감시켜 형성한 후, 각각의 MEMS 미러 셀의 구동 전극을 형성된 어드레싱 라인 중 대응하는 어드레싱 라인과 연결함으로써, 각각의 MEMS 미러 셀을 개별적으로 제어할 수 있게 하면서, 동시에 어드레싱 라인으로 인한 면적의 손실(dead area)을 줄임으로써 MEMS 미러 어레이 전체의 채움-인자(fill-factor)를 대폭 향상시킬 수 있다.