일반기술
다층 구조 소자 및 그 제조 방법
본 발명은 다층구조의 소자에 있어서 제 1층 상의 제 2층의 커버율을 산출하는데 있어서 제 3층의 결정화율을 측정하여 결정하는 다층구조소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 다층 구조 소자는 기판과 기판상에 피착된 제 1층과 제 1층 상에 피착된 제 2층 및 제 2층 상에 피착된 제 3층을 포함하고, 제 1층 상의 제 2층의 커버율은 제 3층의 결정화율에 의해 결정된다. 제 3층의 결정화율은 X-선 회절을 측정함으로써 구할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 서강대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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