일반기술

헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경

헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 주사 현미경에 관한 것이다. 상기 주사 현미경은, 시료로 신호빛을 제공하고, 상기 시료에 대해 집광 및 시준되어 되돌아온 신호빛과 기준빛을 I-신호 및 Q-신호로 변환하여 출력하는 헤테로다인 간섭계, 시료가 배치되는 시료대를 구비하고, 상기 시료대를 신호빛의 진행방향에 대해 수직한 두 방향으로 이동시키는 XY스캐너, 상기 XY스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동장치, 상기 헤테로다인 간섭계로부터 제공되는 신호빛을 시료의 표면으로 집광시키는 집광 장치

기술정보

기술분류
기계 > 기타 기계
보유기관
서강대학교
기술유형
일반기술
등록일
2008-12-29
데이터 갱신일
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상세설명

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