일반기술

다양한 두께를 갖는 모든 b-축이 기질에 대해서 수직으로 배향된 MFI 형 제올라이트 박막 및 그의 제조방법

M F I 제올라이트 박막은 분자분리막, 비선형광학 필름, 전극코팅제, 저유전체 박막 등으로 널리 이용되고 있다. 이러한 이용에서 중요시 되는 것은 박막 내 세공의 방향과 두께를 조절하는 것이다. 기존의 방법에 의하면 제올라이트 종자 결정들을 b-축이 기판에 수직이 되도록 기판 위에 부착시킨 뒤 2차 성장법을 이용하여 종자 결정 간의 틈을 메꾸는 것이다. 이때 2차 성장법을 위해 또는 trimer TPAOH(TPA 이온이 세개가 연결된것)를 첨가제로 사용한 합성젤을 사용한다. 이 경우 최종적으로 생성된 MFI 제올라이트의 배향이 일정하게 b축이 기판에 수직이 되도록 성장하지 않으며 두께도 두꺼워 진다. 본 발명에서는 tetramethyl ammonium hydroxide, tetraethyl ammonium hydroxide, tetrabutyl ammonium hydroxide를 사용한 합성 젤을 이용하여 2차 성장을 일으키어 기판 위에 완벽하게 b축 방향으로 배향된 MFI형 제올라이트 박막을 원하는 두께로 형성하는 방법과 이리하여 생성된 박막을 제공한다.