일반기술
I/Q 간섭계와 스캐닝 방법을 이용한 복합 기능 현미경
I/Q간섭계와 스캐닝 방법을 이용한 복합 기능 현미경에 관한 것이다. 상기 복합기능 현미경은, 시료에 대한 정보를 포함하는 탐지빛을 I-신호 및 Q-신호로 변환하여 출력하는 I/Q간섭계, 시료가 배치되는 시료대, XY스캐너와 스캐너 구동 장치, 상하 이동 기구와 미세거리 조정 장치, 집광/시준 장치 및 컴퓨터를 구비한다. 상기 컴퓨터는 상기 스캐너 구동 장치로 XY스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하거나, 상기 미세 거리 조정 장치로 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 신호를 전송하며, 상기 I/Q간섭계로부터 제공되는 I-신호 및 Q-신호를 입력받ㅂ아 시료의 표면 또는 내부에 대한 정보를 추출하게 된다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 표준·측정·시험평가 기술
- 보유기관
- 서강대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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