일반기술

전기장발광소자 및 그 제조방법

본 발명은 전기장발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 전기장발광소자는 인가되는 전기장의 세기에 비해 발광층의 내부로 주입되는 전자의 수가 적어 휘도특성 및 발광효율이 저하되는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 감안한 본 발명은 발광층과 절연층의 사이에 계면구조물을 삽입하여 화소 면적의 변화없이 발광층과 절연층의 사이의 계면의 표면적을 증가시킴으로써, 전기장발광소자의 휘도와 발광효율을 증가시키는 효과가 있다.1. 배면전극(6)의 상부에 형성한 하부 절연층(3)과; 상기 하부 절연층(3)의 상부에 형성한 요철형의 계면구조물(7)과; 상기 요철형의 계면구조물(7)의 상부에 순차적으로 형성한 발광층(4), 상부 절연층(5), 투명전극(2)으로 구성하여 된 것을 특징으로 하는 전기장발광소자.2. 제 1항에 있어서, 상기 요철형의 계면구조물(7)은 원추형 또는 사각뿔형 또는 사각형의 요철구조를 갖는것으로 구성하여 된 것을 특징으로 하는 전기장발광소자.3. 제 1항 또는 2항에 있어서, 상기 요철형의 계면구조물(7)은 실리콘 기판 또는 실리콘을 기초로한 유리계또는 Al, Mo, Ta, W, Ti 등의 금속인 것을 특징으로 하는 전기장발광소자.4. 실리콘 기판을 사용하여 요철형의 계면구조물(7)을 형성하는 단계와; 상기 요철형의 계면구조물(7)의 하부에 물리적 또는 화학적 기상 증착법을 사용하여 SiO2, SiOXNY, BaTa2O6, Ta2O5, Al2O3, BaTiO3 등을 증착하여 하부 절연층(3)을 형성하는 단계와; 상기 요철형의 계면구조물(7)의 상부에 ZnS, SrS, CaS, CaGa2S4, BaGa2S4,SrGa2S4 등의 모체에 Mn 또는희토류원소(Tb, Ce, Tm, Eu, Pr)를 첨가한 발광층(4)을 전자선증착법으로 증착하는 단계와; 상기 발광층(4)의 상부에 상부 절연층(5)을 증착하는 단계와; 상기 상부 절연층(5)의 상부 및 하부 절연층(6)의 하부에 ITO막이 증착된 실리콘 또는ZnO:Al 박막을 증착하여 투명전극(2) 및 배면전극(6)을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 전기장발광소자 제조방법.5. 제 4항에 있어서, 상기 요철형의 계면 구조물을 형성하는 단계는 실리콘 기판의 상부에 식각 마스크용의열산화막을 성장시키는 단계와; 사진식각공정을 사용하여 상기 기판의 일면에 원형, 정사각형 또는 직선형의 창을 형성하는 단계와; 소정 온도에서 상기 노출된 원형, 사각형 또는 직선형으로 노출된 상기 실리콘 기판을 식각하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전기장발광소자 제조방법.6. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 4인치의 크기, 530 청구항 7. 제 5항에 있어서, 상기 열산화막은 0.2 두께로 성장시키는 것을 특징으로 하는 전기장발광소자 제조방법. 청구항 8. 제 4항에 있어서, 상기 실리콘 기판을 식각하는 단계는 110~115℃의 온도분위기에서 식각하는 것을 특징으로 하는 전기장발광소자 제조방법.청구항 9. 제 4항에 있어서, 상기 요철형 계면구조물은 실리콘을 기초로한 유리계 또는 Al, Mo, Ta, W, Ti 등의 금속재료를 사용하는 것을 특징으로 하는 전기장발광소자 제조방법