일반기술
결정화용 구조물 및 이를 이용한 결정화 방법
본 기술은 flexible 기판위에 증착된 비정질 실리콘의 국부영역에 열처리를 하여 결정화 시키는 것과 polymer 등의 물질에 열처리를 하여 원하는 물질을 얻는 것에 관한 것으로, 본 기술은 flexible 기판위에 화학기상증착법과 유기 용매를 이용하여 증착한 비정질 실리콘 박막을 준비하고, 주기적으로 배치되어 있는 요철이 있는 기판의 요철을 발열되게 하여 그 요철을 증착된 비정질 실리콘 박막에 마스크 및 기타 여러 가지의 방법으로 비접촉시켜 에너지를 주입함으로써 국부영역에만 열처리를 실시하게 되며, 열처리된 부분에서 보다 좋은 성질의 결정화 및 원하는 물질을 얻을 수 있다. flexible 기판은 국부적인 영역만을 열을 받으므로 기판 전체에 thermal budget 영향을 최소화 할 수 있는 방법을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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