일반기술

ＲＴＡ를 통한 스핀캐스팅된 PVDF 박막의 β 결정화 방법

본 기술은 α 또는 γ 결정 구조의 스핀캐스팅된 PVDF 박막을 강유전성 β 결정 구조로 전환하기 위한 방법에 있어서, 습도가 조절되는 분위기 하에서 Au 기 판 위에 PVDF 용액을 스핀캐스팅하여 PVDF 박막을 제조하는 단계(I) 및 상기 스핀 캐스팅된 PVDF 박막을 PVDF의 녹는점 이하의 설정 온도로 급속히 온도를 올려준 후, 일정 시간 온도를 유지시켜주는 RTA(Rapid Thermal Annealing, 급속열처리) 단 계(II)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 RTA를 통한 스핀캐스팅된 PVDF 박막의 β 결정화 방법을 제공한다. 본 기술은 스핀캐스팅을 이용하면서도 강유전성 β 결정 구조의 PVDF 박막 을 제조할 수 있으므로, 대면적의 PVDF 박막의 제조가 가능하며, P(VDF-TrFE)박막 과는 달리 작동 온도가 높아 고온 작동용 소자에 적용가능하며, P(VDF-TrFE)보다 제조 비용이 저렴하다는 장점이 있다.