일반기술
전기적으로 분류 입경 제어가 가능한 MEMS 기반 미세가상임팩터
본 기술은 공기 중의 미세입자의 분류를 위한 MEMS 기반 미세가상임팩터의 설계, 제작 및 응용에 관한 것이다. 본 기술에서 제시하는 미세가상임팩터는 구조적으로 1 μm 크기의 입자를 분류하기 위해 설계 및 제작되었다. 그러나, 이 미세가상임팩터에 한쌍의 전극이 집적되어 있고 이를 통하여 입력되는 전압의 크기에 따라서 나노미터급의 미세입자를 분류할 수 있다. 또한, 인가되는 전압의 크기에 따라서 분류 입경을 제어할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 미소·극미소기전시스템장비
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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