일반기술
다중개구를 이용한 집속 이온빔 가공장치, 그 보정방법 및 이를 이용한 가공방법
이온빔 가공장치에 있어서 이온원 하부에 존재하는 개구를 다중 개구로 하여 단일이온소스에서 다중빔을 방출하고, 다중빔 방출시 개구에 전위차를 두어 다중빔 방출을 활성화하며, 각각의 개구에 전기적 신호로 점멸이 가능한 점멸기를 사용하여 다중빔의 점멸을 제어하고, 방출된 다중빔을 집속, 분해하여 가공하는 장치와 이를 이용한 가공방법을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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