일반기술

유도 가열을 이용한 반도체 나노선 형성 장치 및 상기 장치를 이용한 반도체 나노선의 제조방법

본 발명에 따른 유도 가열을 이용한 반도체 나노선 형성 장치는 석영 관과, 상기 석영 관 외부를 권취하고 내부에 냉각수가 흐르는 유도 코일과, 상기 석영 관 내부에 형성된 도전체로 구성된다. 또한, 관 일측에는 가스 투입장치가 형성되고, 다른 일측에는 펌핑 수단이 형성되어 관 내부로 특정 가스가 흐르도록 구성된다. 또한, 상기 나노선 형성 장치는 상기 유도 코일에 전원을 공급하기 위한 전원 장치와, 상기 유도 코일의 내부에 냉각수를 공급하기 위한 냉각수 공급 장치를 더 포함한다. 본 발명에 따른 장치는 국부적인 가열 및 온도 조절의 용이성, 그리고 빠른 냉각 특성을 가지고 있으므로, 원하는 온도 조건의 확보 및 조절이 용이한 장점이 있으며, 특히 유도가열의 특성상 Glass와 같은 기판을 적용한 공정 개발도 가능하도록 하는 장점이 있다. 그리고 이러한 장치를 사용하여 제조된 반도체 나노선은 단일 일차원 나노구조체로 나노선을 이용한 소자 제작시 집적화에 유리하며 나노선 고유의 특성 즉, 양자제한효과 등으로 인해 초고성능 나노 소자의 제작이 기대된다. 또한 본 장치는 상기에 기술한 합성 이외의 다양한 온도 범위에서의 신재료 합성 및 열처리의 실시, 그리고 그를 이용한 소자 개발 등에 활용 할 수 있는 장점을 가지고 있다.