일반기술
자성 패턴 형성 방법 및 자성 패턴 형성을 통한 패턴드 미디어 제조방법
나노 크기의 형상을 갖는 나노스탬프를 이용한 나노 임프린팅 공정을 통해 패턴 형성층 위에 마스크 패턴을 형성하고 마스크 패턴을 통하여 2 keV이하의 에너지를 갖는 수소 이온을 전사해서 패턴형성층에 환원작용을 일으킴으로써 원하는 형태의 자성 나노패턴이 형성되도록 함
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료 공정기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.