일반기술

집속이온빔을 이용한 공중 부유형 단일 나노 와이어의 제작과 기능성 부여를 통한 초고감도 가스센서

본 기술은 마이크로 기전 시스템 (MEMS: Micro Electromechanical System) 공정 과정을 통하여 대량 생산된 마이크로 전극 위에 집속이온빔화학기상증착법 (FIB-CVD: Focused Ion BeamChemical Vapor Deposition)을 이용하여 두 마이크로 전극 사이를 공중에 부유된 형태의 단일 나노와이어로 연결하는 제작 방법을 포함한다. 또한 공중 부유형 단일 나노와이어에 특정 가스를 흡착하는 감지물질을 코팅하여 가스 센서로써 기능성을 부여하는 기술을 포함한다. MEMS 공정을 이용하여 전기적으로 절연되고, 기판 위에 소정의 간격으로 배치되는 전극을 형성하는 제1단계, 앞서 제작된 마이크로 전극 위에 집속이온빔 장치를 이용하여 공중 부유형 단일 나노와이어를 제작하여 전극을 기계적/전기적으로 연결하는 제2단계, 제작된 나노와이어에 특정 재료를 코팅하여 기능성을 부여하는 제3단계, 기능성이 부여된 나노와이어를 가스센서에 적용하는 제4단계를 포함한다.