일반기술
안티몬-아연 합금을 이용한 상변화형 비휘발성 메모리 소자 및 이의 제조방법
본 기술은 상변화형 비휘발성 메모리 소자 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 상변화형 비휘발성 메모리 소자는 기판 및 기판상부에 형성된 상변화재료층을 포함하는 메모리소자의 스택을 포함하고, 상기 상변화재료층은 안티몬과 아연 합금으로 형성된다. 이에 따라서, 종래의 gst 메모리 소자에 비해 고속에서 안정적으로 동작하며 및 저소비전력형 상변화형 메모리 소자를 제작할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 기타 정보
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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