일반기술
ＩＴＯ 도전막, 그 증착방법 및 증착 장치
본 기술은 ITO(Indium Tin Oxide: 인듐 주석 산화물)층을 양산 제조하는 방법에 있어서 기존의 스파터링등과 같은 박막제조 방법의 단점을 보안하면서 대면적 기판상에 ITO 박막을 형성하는 방법이다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료 공정기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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