일반기술
무감광 리소그래피에 의한 박막 패터닝 방법
본 기술은 펄스 레이저를 이용한 나노입자 박막 패터닝 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기판 상에 증착된 나노입자 박막에 주기적으로 반복되는 단순한 패턴 뿐만 아니라, 사용자가 원하는 임의의 복잡한 형태의 패턴을 형성할 수 있고, 더욱이 엣지 해상도(edge resolution)를 향상시킬 수 있는 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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