일반기술

연성기판에 증착된 투명전극의 인장강도 시험

본 기술은 기존의 휨시험과 같이 TCO에 복잡한 응력 상태를 발생시키는 사험법을 개선하여, 순수 인장과 압축 하에서 TCO의 기계적 강도를 측정할 수 있는 시험법이다. TCO가 증착된 연성 기판을 고정된 두 개의 롤에 감아 두 롤을 반대방향으로 회전시킴으로써, 롤 사이의 기판을 팽팽하게 당겨 TCO에 순수 인장응력을 가하는 방법이다. 이 때, 롤 표면의 마찰력을 조절함으로써, 롤이 감기는 방향과 반대 방향으로는 TCO에 압축응력이 동시에 발생하게 할 수 있다. 또한, 롤이 회전하는 방향과 수직한 방향에 기판을 가로지르는 crack을 미리 발생시켜, 수직방향으로 압축 응력만을 발생시킬 수도 있다. 파괴응력의 감지는 고속 카메라가 설치된 광학 현미경으로 응력이 가해지는 TCO 표면을 관찰하여 crack 이 일어나는 시점의 응력을 계산한다. 따라서, crack의 크기와 발생 위치에 민감한 전기적, 광학적 성질 변화로 인해 부정확하게 측정되는 파괴 응력 감지를 개선할 수 있다.