일반기술
형상개구를 이용한 집속 이온빔 가공장치와 이를 이용한 가공방법
빔 방출영역이 큰 가스이온소스를 사용하고, 이온원 하부에 형상을 가진 개구를 두고 집속된 빔 형상에 따라 임의의 형상을 한 번에 가공하여 기존의 집속 이온빔 장비보다 높은 가공속도로 미세 가공을 할 수 있는 장비를 제공하며, 또한 스테이지와 빔 형상을 연동하여 기존 방법보다 높은 효율로 특정형상을 가공하는 방법을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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