일반기술

전기화학적 자기조립을 통한 메조구조의 전이금속산화물의 제조방법

본 기술의 메조구조의 라멜라 망간산화물 박막의 제조방법을 단계별로 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 제1단계는 구조지시제 및 전이금속 이온을 포함하는 전해액을 제조하는 단계이다. 보다 구체적으로 전이금속 이온을 포함하는 용액 내에 구조지시제를 첨가시킨 후 강하게 교반하여 전해액을 제조한다. 이때 상기 전해액 내에서 양이온 상태로 존재하는 전이금속 이온은 구조지시제와 정전기적인 인력에 의해 서로 결합된 상태로 존재하게 된다. 상기 제2단계는 상기 전해액의 전기화학적 자기조립을 통한 구조지시제 및 전이금속 복합체의 제조단계로, 공지된 전기화학적 자기조립 방법을 제한 없이 사용할 수 있으나, 상기 제1단계의 전해액에 기판전극, 상대전극 및 기준전극을 삽입하여 산화전위 또는 순환전위를 인가시켜 구조지시제 및 전이금속 복합체를 제조하는 것이 바람직하다. 상기 제3단계는 상기 제2단계에서 복합체로부터 구조지시제를 제거하는 단계이다. 일반적으로 메조구조 물질에 포함된 구조지시제는 300℃ 이상의 온도에서 열처리를 하거나 알코올과 같은 용매에 침적시켜 용액처리를 하여 제거하는 방법이 많이 사용되고 있으나, 실리카 계열의 물질에 비해 활성이 높은 금속산화물은 고온의 열처리나 용액처리 중에 상변화 또는 산화환원반응이 진행되어 기 제조된 메조구조가 붕괴되는 경우가 많다. 따라서, 이러한 박막 구조의 붕괴현상을 방지하기 위하여 본 기술은 자외선/오존처리법을 박막에 적용하여 구조지시제를 제거한다.