일반기술

트리실라알칸 화합물의 열분해에 의한 베타 형 탄화규소 미세분말의 제조방법

새로운 원료계로서 직접법에 의하여 경제적이며 대량 생산이 가능한 베타형 탄화규소 미세 분말을 제조한다. <구성>일반식 (I)(II)(III)(IV)의 메타실란알칸들을 단독으로 또는 두가지 이상 혼합하여 운반 기체 존재하에 열분해 시킨다. <효과>화학적, 물리적으로 안정하고 내열성이 좋으며 열전도성이 좋고 열팽창 계수가 낮으며 내마성이 높은 제품을 얻는다.1. 일반식(1), (2), (3) 또는 (4)의 메틸실라알칸들을 단독으로 또는 두가지 이상 혼합하여 운반기체 존재하에 열분해시키는 것으로 이루어지는 구형의 β형 탄화규소 미세분말의 제조방법. 일반식(1)에서 R1,R2,R3는 독립적으로 CH2 또는 Cl를 표시한다. 일반식 (2)에서 R1,R2,R3는 독립적으로 CH3 또는 H를 표시한다. 일반식(3)에서 R1, R2는 독립적으로 CH3 또는 Cl, R3는 독립적으로 H 또는 Cl를 표시한다. 일반식(4)에서 R1, R2는 독립적으로 CH3 또는 H를 표시한다.2. 제1항에 있어서, 메틸실라알칸 화합물중 일반식(1), (2), (3) 또는 (4)로 표시되는 화합물 또는 이들의 혼합물의 운반기체중 농도가 50% 이하인 것이 특징은 β형 탄화규소 미세분말의 제조방법.3. 제1항에 있어서, 운반기체로 알곤, 수소 또는 이들의 혼합기체를 사용하는 것이 특징인 β형 탄화규소 미세분말의 제조방법.4. 제1항에 있어서, 열분해 반응 온도가 750-1,600℃인 것이 특징인 β형 탄화규소 미세분말의 제조방법.5. 제1항에 있어서, 잔류 염화규소가 남아있는 경우에 2차 열처리 과정으로 알곤 대기하에서 1,000-1,200℃로 온도를 올려 잔류 염화규소를 제거하는 것이 특징인 β형 탄화규소 미세분말의 제조방법.