일반기술
레이저 프린팅에 의한 박막패터닝 방법
진공 프로세스와 감광층(photoresist layer)을 필요로 하지 않으면서도 기판 상에 주기적으로 반복되는 단순한 패턴뿐만 아니라, 사용자가 원하는 임의의 복잡한 형태의 고해상 패턴을 입사 빔의 공간 변조를 통하여 용이하게 형성할 수 있고, 기판의 재료의 종류에 제한을 받지 않으면서 상기 패턴을 형성할 수 있으며, 집속된(focused) 레이저 빔을 스캔하는 직렬방식이 아니라 펄스 레이저를 이용한 병렬 레이저 프린팅에 의해 신속히 박막 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 금속재료
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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