일반기술
환원된 PdO 박막을 이용한 초 고감도 수소 센서와 제조 방법
종래의 순수한 Pd를 사용하였지만, 본 발명인은 Pd의 특성 향상을 위하여 리액티브 스퍼터 기법을 사용하여 PdO 박막을 제작한다. 하기 화학식과 같이, 상기 PdO 박막은 수소와 환원반응 시키면 Pd 박막과 수증기(H2O(v))을 얻을 수 있다. 이때, 수증기가 PdO박막의 표면을 빠져나오면서 작은 균열(nano-crack)을 생성한다. 이렇게 생성된 무수히 많은 나노크랙 및 나노 구각을 가지는 Pd 박막은 면적/부피비가 증가되어 센서로의 민감도 향상을 기대할 수 있다. 본 발명은 상기 환원된 Pd박막의 향상된 특성을 실시예를 통하여 입증하며, 수소 센서로서의 응용뿐만 아니라 나노 물질 연구에 큰 도움을 주도록 한다. 2PdO + 2H2(v) = 2Pd + 2H2O(v)- 화학식
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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