일반기술

박막 특성의 모델링 방법

증착된 박막의 전기적인 특성을 모델링하는 방법에 있어서, 공정변수에 따른 박막의 전체 Spectra 데이터로부터 유의미한 데이터를 선택한다. 기 선택된 유의미한 데이터로부터 주성분분석을 이용하여 주성분을 추출해 낸다. 상기 추출된 주성분에 신경망 모델링을 적용하여 상기 증착된 박막의 전기적인 특성과 공정변수 사이의 공정 모델링을 제시할 수 있다. 공정을 수행하는데 있어서 공정 변수는 공정 챔버 내의 압력, 챔버내 기판의 온도, 소스의 온도 및 소스가 공급되는 과정에서의 온도 등 공정에 영향을 줄 수 있는 조절이 가능한 변수 등으로 이루어 지며, 상기 제시된 공정 모델링 결과를 통해 상기 공정 변수의 변화에 따른 증착된 박막의 전기적인 특성의 결과를 예측할 수 있다. 상기 공정 모델링에 있어서, 전체 Spectra 데이터에서 유의미한 데이터를 선택한 후, 기 선택된 유의미한 데이터로부터 추출된 주성분에 신경망 모델링을 적용하여 획득된 모델은 전체 Spectra 데이터에서 추출된 주성분에 신경망 모델링을 적용하여 획득된 모델에 비교할 때, 더 빠른 시간내에 충분한 설명력을 가진다. 또한, 원하는 박막의 특성을 위해 필요한 공정변수들의 값을 획득할 수도 있다.