일반기술

레이저 리소그라피 장치에서 간섭계를 이용한 촉점 찾는 방법

본 발명은 미세 패턴의 제작에 사용되는 리소그라피 장치에서 간섭계를 이용하여 정확하게 촛점을 찾는 방법에 관한 것이다 <구성>종래의 방법은 렌즈의 구경이 커야하고 모서리 효과를 제거할 수 있어야 함에 따라 렌즈이 가격이 고가이며, 렌즈의 촛점 거리를 측정하여 그 위치에 검출기를 정렬하는 데에 어려움이 많은 문제점이 있다. <효과>레이저(10)로부터 방출되어 콜리메이터(11)를 거쳐 광분할기(12)로 입사된 빛의 일부분은 거울(13)로 진행하다 반사되어 다시 공분할기로 향하고, 빛의 다른 부분은 직진하여 집속 렌즈(17)를 지나 시료에서 반사되어 다시 광분할기(12)로 향하여 이들 두개의 거울에서 반사된 빛과 시료에서 반사된 빛이 광분할기로 거치면서 간섭을 일으키는 간섭계에서 관찰되는 특정의 간섭 무늬를 직선이 되도록 제조정하여 시료에 촛점을 맺히게 함으로 촛점을 찾는다.1. 레이저로부터 방출되어 콜리메이터를 거쳐 광분할기로 입사된 빛의 일부분은 거울로 진행하다 반사되어 다시 광분할기로 향하고, 빛의 다른 부분은 직진하여 접속렌즈를 지나 시료에서 반사되어 다시 광분할기로 향하여 이들 두개의 거울에서 반사된 빛과 시료에서 반사된 빛이 광분할기로 거치면서 간섭을 일으키는 간섭계에서 관찰되는 특정의 간섭무늬를 직선이 되도록 조정하여 시료에 촛점이 맺히게 함을 특징으로 하는 레이저 리소그라피장치에서 간섭계를 이용한 촛점 찾는 방법.