일반기술
신규의 희생층 재료를 이용한 기판 상에서의 나노와이어 패터닝 방법
본 기술에 따라서 기판의 표면에서 나노와이어를 패터닝하는 방법이 제공된다. 본 기술에 따르면, 종래에는 전혀 제안되지 않았던 재료,즉 플루오르화바륨을 희생층으로 구성하고 있는데,이 재료는 고온에서 안정적인 성질을 나타내고 또 상온에서 물에 의해 간단히 제거할 수 있어, 나노와이어 성장 및 패터닝을 가능케 한다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료 공정기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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