일반기술

코발트 페라이트 자성 박막 및 그 제조방법

본 발명은 코발트 페라이트 자성 박막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 산화물계 자성박막이 갖고 있는 우수한 내식성 및 내마모성과 제조비용의 저렴함을 살리면서도 아울러 자기 적 특성, 특히 포화자화값을 획기적으로 향상시키도록 한 것이다. 이에 조성식 CoXFeYOZ. 이때, X,Y,Z는 원자비로 0.5 X 2.9, 0.1 Y 2.5, 1 Z 4, X +Y = 3 인 것을 특징으로 하는 코발트 페라이트 자성 박막과, 금속계 타겟트를 사용하여 스파터 가스중 산소분율이 0.5∼20%이고, 기판온도가 100∼500℃인 스파터링 조건에서 피착시켜 코발트 및 철산화물과 코발트 및 철 금속을 박막형태로 형성하는 것임을 특징으로 하는 코발트 페라이트 자성 박막의 제조방법이 제공된다.1. 코발트를 함유한 철산화물과, 코발트와, 철 금속으로 이루어지고, 그 조성식이 다음과 같은 것을 특징으로 코발트 페라이트 자성 박막:Co(x)Fe(y)o(z)이때. X,Y,Z는 원자비로 0.5 X2.9, 0.1 Y 2.5, 1 Z 4, X+Y=3.