일반기술

스탬프 제작장비 및 방법과 이를 이용한 패턴드 미디어 제작방법

본 기술은, 기판 상에 보호층을 형성하는 보호층 형성단계; 상기 보호층 상에 레지스트층을 형성하는 레지스트층 형성단계; 상기 레지스트층을 패터닝하는 레지스트층 패터닝단계; 및 상기 보호층의 노출 부위를 식각하는 보호층 식각단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법을 제공한다. 바람직하게는, 상기 보호층 형성단계는, 제작하고자 하는 패턴드 미디어의 패턴 깊이에 대응되는 두께로 상기 보호층을 형성한다. 바람직하게는, 상기 보호층 식각단계는, 상기 보호층을 상기 기판까지의 깊이로 식각한다. 바람직하게는, 상기 보호층과 상기 레지스트층 사이에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성단계와, 상기 마스크층의 노출 부위를 식각하는 마스크층 식각단계를 추가적으로 포함한다. 또한, 본 기술은, 상기 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법에 의하여 스탬프를 제작하는 스탬프 제작단계; 상기 스탬프의 패턴을 패턴층에 복제하는 복제단계; 및 상기 패턴이 복제된 패턴층 상에 마그네틱층을 형성하는 마그네틱층 형성단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작방법을 제공한다. 여기서, 상기 복제단계는, 광경화 임프린팅, 열경화 임프린팅, 사출성형, 압축성형, 또는 핫엠보싱을 수행할 수 있다.